01972nab a2200241uuc4500001000800000005001700008008004100025035001200066040001300078041000800091100004700099245010000146336009100246520106000337650002001397650003001417650002801447650002201475700004901497700004601546700004101592773009701633156501120240202134431.0211126m01uu2018                    eng    a1565011  ccomduadb  aeng10aRamírez Ramírez, Sebastián4auteaut10aStudy of the plasma behavior produced by a vacuum arc discharge for different cathode materials  atextobtxt0(uri)http://www.rdaregistry.info/termList/RDAContentType/#10202rdacontent3 aRESUMEN: Las técnicas asistidas por plasma han sido ampliamente utilizadas para la deposición de películas delgadas y recubrimientos metalúrgicos de alta calidad. La descarga luminiscente producida en la región entre electrodos y cámara de un arco catódico fue modelada. El comportamiento del plasma fue caracterizado para diferentes materiales del cátodo comúnmente utilizados en descarga de arco catódico. Se encontró que la temperatura electrónica, densidad y potencial eléctrico decrecen como función de la distancia desde la región de puntos catódicos. Sin embargo, la energía cinética del ion tiende a incrementar debido a la aceleración de los iones provenientes de la región central del arco. Nuestros resultados muestran que el arco catódico no es directamente afectado por el potencial del plasma de la descarga luminiscente y que el material del cátodo tiene una influencia importante en el comportamiento del plasma, principalmente debido a la conductividad eléctrica y térmica de cada material.  aArco catódico  aConductividad eléctrica  aConductividad térmica  aPlasma (Física)10aSabogal Suárez, Daniel Alejandro4auteaut10aDevia Narváez, Diego Fernando4auteaut10aRestrepo Parra, Elisabeth 4auteaut0 tDYNA (Medellín)gVolumen 085, Número 204, Marzo de 2018, 76-82w188384x0012-7353082258