02055nab a2200265uuc4500 1565011 20240202134431.0 211126m01uu2018 eng 1565011 comduadb eng Ramírez Ramírez, Sebastián aut aut 662716 Study of the plasma behavior produced by a vacuum arc discharge for different cathode materials texto txt (uri)http://www.rdaregistry.info/termList/RDAContentType/#1020 rdacontent RESUMEN: Las técnicas asistidas por plasma han sido ampliamente utilizadas para la deposición de películas delgadas y recubrimientos metalúrgicos de alta calidad. La descarga luminiscente producida en la región entre electrodos y cámara de un arco catódico fue modelada. El comportamiento del plasma fue caracterizado para diferentes materiales del cátodo comúnmente utilizados en descarga de arco catódico. Se encontró que la temperatura electrónica, densidad y potencial eléctrico decrecen como función de la distancia desde la región de puntos catódicos. Sin embargo, la energía cinética del ion tiende a incrementar debido a la aceleración de los iones provenientes de la región central del arco. Nuestros resultados muestran que el arco catódico no es directamente afectado por el potencial del plasma de la descarga luminiscente y que el material del cátodo tiene una influencia importante en el comportamiento del plasma, principalmente debido a la conductividad eléctrica y térmica de cada material. Arco catódico 222601 Conductividad eléctrica 25 Conductividad térmica 54296 Plasma (Física) 13224 Sabogal Suárez, Daniel Alejandro aut aut 813782 Devia Narváez, Diego Fernando aut aut 681987 Restrepo Parra, Elisabeth aut aut 819372 DYNA (Medellín) Volumen 085, Número 204, Marzo de 2018, 76-82 188384 0012-7353 82258 ARIMP 829467 829467